洁净技术与电子产品生产技术是相互促进、共同发展起来的。新国标满足了新时期电子产品生产对洁净技术的要求。新国标的实施使我国洁净技术迈上新台阶。
洁净生产环境(洁净厂房、洁净室)先后使用过“无尘室”、“无窗厂房”、“密闭厂房”、“空气悬浮粒子受控的房间”等概念。洁净厂房的设计建造和使用应做到不引入或少引入微粒,不产生或少产生微粒,不滞留或少滞留微粒。此外,洁净厂房还对温度、湿度、压力等参数按产品生产要求进行控制。而根据产品生产要求需对洁净室内的气流分布、气流速度以及噪声、振动、静电等进行控制。
产品生产推动洁净技术演进
国内外洁净技术的发展都是随着科学技术的发展和产品生产的更新换代,特别是军事工业、电子、航天和生物医药等工业的发展而不断演进的。现代工业产品和现代科学实验活动要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性。以微型化为例,电子计算机从当初放置在若干个房间内庞大的机组发展到今天的便携式笔记本。与此同时,它内部所使用的电子元器件也从电子管到半导体分立器件,再到集成电路和极大规模集成电路;集成电路的线宽也已从几微米发展到当今45纳米。这些新科技产品要求具有严格的洁净生产环境。洁净技术便是根据产品生产对洁净生产环境中污染物的控制要求、控制方法以及控制设施等日益严格的要求不断发展而来的。
洁净技术是一门综合技术,其核心技术包括生产工艺技术及其工艺设计、空气净化、洁净建筑以及各类产品生产所需的专业技术(如微电子产品生产所需的高纯物质———
高纯水、高纯气、高纯化学品的相关专业技术等)。这些专业技术在洁净室设计中都是不可缺少的,它们必须密切配合,围绕着产品生产的需要,相互协调、统筹安排。洁净厂房的设计和建造就是要在做好各相关专业设计的基础上,做好各项安全设施———
消防、防火、防爆、安全报警,确保洁净室的安全运行。与此同时,它还要处理好电源、冷源、热源等动力供应,节约能源;安排好各类配管配线,确保各种流体介质的输送质量,减少材料消耗,方便施工安装和运行维护。